단결정 성장로
애플리케이션
실리콘, 사파이어, 게르마늄 등의 반도체 잉곳 성장에 주로 사용되는 단결정로.일반적인 레이아웃은 전면 개방형 도어 접근이 가능한 수직 크리스탈 풀러입니다.
장점
우리는 중요한 성장에 필요한 두 가지 가장 중요한 매개변수인 안정성과 제어를 보장할 수 있습니다.실험실과 생산에서 성공적인 결정 성장의 열쇠인 일관성, 반복성 및 균일성을 달성하려면 두 가지 모두 필요합니다.
1. 안정성은 결정 재배자에게 까다로운 결정 성장을 위한 알려지고 일정한 환경을 제공합니다.안정성은 일관된 용융 및 영역 정제를 위해 균일하고 엄격하게 정의된 온도와 열 구배를 보장합니다.안정성을 위해서는 잘 제어된 기체 또는 진공 환경이 필요합니다.결정 성장의 안정성을 위해서는 크고 동적 범위가 있는 부드럽고 매우 일정하며 진동 없는 모션, 프로그래밍 가능한 1차 및 2차 파생 상품, 다축 구성이 필요하지만 모두 제어되어야 합니다.
2. 제어는 설정된 온도를 정확하게 유지하고 최소한의 오버슛으로 새로운 값으로 빠르고 원활하게 변화하는 자동 컴퓨터 시스템 인터페이스를 통해 이루어집니다.모션 시스템은 매 순간, 그리고 매주 시간과 공간 모두에서 매우 일관된 당김 속도를 제공해야 합니다.결정 성장 시스템에서 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하려면 전체 연신 주기 동안 위치 정확도가 유지되어야 합니다.
3. 완벽하고 통합된 정밀 결정 성장 장비를 제공합니다.자동 직경 제어, 최첨단 도가니 기술을 갖추고 있습니다.
상세도면
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