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단결정 성장로

간단한 설명:

단결정로는 단결정로라고도 불리며 불활성 가스(질소 및 헬륨 가스) 환경에서 흑연 히터로 폴리실리콘과 같은 다결정 물질을 녹이고 직접 풀 방식을 사용하여 단결정을 전위 없이 성장시키는 장치입니다.


제품 상세 정보

제품 태그

애플리케이션

실리콘, 사파이어 또는 게르마늄의 반도체 잉곳 성장에 자주 사용되는 단결정로.일반적인 레이아웃은 전면 개방 도어 액세스가 있는 수직 크리스탈 풀러입니다.

장점

우리는 중요한 성장에 필요한 두 가지 가장 중요한 매개변수인 안정성과 제어를 보장할 수 있습니다.두 가지 모두 일관성, 반복성 및 균일성을 달성하는 데 필요합니다. 이는 실험실과 생산에서 성공적인 결정 성장의 핵심입니다.

1. 안정성은 결정 재배자에게 결정 성장을 요구하는 알려진 일정한 환경을 제공합니다.안정성은 일관된 용융 및 구역 미세화를 위해 균일하고 엄격하게 정의된 온도 및 열 구배를 보장합니다.안정성을 위해서는 잘 제어된 가스 또는 진공 환경이 필요합니다.결정 성장의 안정성은 넓고 동적 범위, 프로그래밍 가능한 1차 및 2차 미분, 다축 구성을 갖춘 부드럽고 매우 일정하며 진동이 없는 동작을 요구하지만 모두 제어되어야 합니다.

2. 온도를 설정한 위치에 정확하게 유지하고 오버슈트를 최소화하면서 새로운 값으로 빠르고 원활하게 지속적으로 변경하는 자동 컴퓨터 시스템 인터페이스를 통해 제어가 이루어집니다.모션 시스템은 시간과 공간 모두에서 매 순간 그리고 매주 매우 일관된 당김 속도를 제공해야 합니다.결정 성장 시스템에서 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하려면 완전한 드로우 사이클을 통해 위치 정확도를 유지해야 합니다.

3. 완벽하고 통합된 정밀 수정 성장 장비를 제공합니다.자동 직경 제어, 최첨단 도가니 기술.

상세 도면

정밀주조로

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